Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учебное пособие для вузов]: в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010—. - (Нанотехнологии) - Коркишко, Ю. Н. (Нанотехнологии, 2010)