Основы микроминиатюризации / Канд. техн. наук, доц. Е. В. Промыслов, канд. техн. наук, доц. А. К. Скворчевский, канд. техн. наук, доц. Ф. Ф. Водоватов. Технология изготовления микросхем. — 1975. — 228 с. - Скворчевский, А. К.; Водоватов, Ф. Ф. (1975)