Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 3 / под общей редакцией А. П. Достанко и П. А. Витязя
| Вид документа: | Книги |
|---|---|
| Опубликовано: | 2001 |
| Физические характеристики: |
289, [1] с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка...