Технология получения полупроводниковых приборов из карбида кремния: (обзор литературы) / В. М. Гуревич

Вид документа: Периодические издания
Автор: Гуревич, В. М.
Опубликовано: Москва : Отдел научно-технической информации, 1962
Физические характеристики: 18 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Информация ; 10 (21)
Предмет: