Advanced semiconductor lithography / George J. Hefferon, guest editor
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Armonk, NY : International Business Machines Corporation, 2001 |
| Физические характеристики: |
С. [2], 603―760 : іл. ; 28 см
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
IBM journal of research and development
; vol. 45, № 5 |
Загрузка...