Вакуумное оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроники : (по данным отечественной и зарубежной печати) / [Л. К. Ковалев]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982. — 82, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника ; 1982, вып. 2) - Ковалев, Л. К. (Обзоры по электронной технике, 1982)