Методы наблюдения и контроля дефектов в полупроводниковых материалах и структурах: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1958―1975 гг.) / [Ю. М. Литвинов, Т. И. Ольховикова, Ф. Р. Хашимов]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Литвинов, Ю. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1976 |
| Физические характеристики: |
33, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1976, вып. 3 |
Загрузка...