Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 3. Гетероэпитаксиальные структуры: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1986 гг.) / В. В. Зотов, В. Н. Стаценко
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Зотов, В. В. (род. 1934) |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Физические характеристики: |
38, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1986, вып. 9 |
Загрузка...