Рентгенолитография в производстве СБИС : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1983―1987 гг.) / В. И. Акифьев, Н. В. Гревцев, А. Л. Гриценко. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988. — 72, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 10) - Акифьев, В. Ю. (Обзоры по электронной технике, 1988)