Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1957―1988 гг.) / А. Н. Семенченко, Ю. П. Райнова, Ю. Д. Чистяков. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989. — 45, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1989, вып. 8) - Семенченко, А. Н. (Обзоры по электронной технике, 1989)