Ионно-плазменные источники в технологии микроэлектронных приборов : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / А. Г. Денисов, Е. Я. Черняк, А. А. Козлов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1982. — 64 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1982, вып. 14) - Денисов, А. Г. (Обзоры по электронной технике, 1982)