Физико-химические особенности процессов плазмохимического травления : (по материалам отечественных и зарубежных литературных источников за 1970―1991 гг.) / [С. Н. Рябов, С. А. Кутолин, Н. И. Бойкин]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981. — 73 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 20) - Рябов, С. Н. (Обзоры по электронной технике, 1981)