Очистка технологических вентиляционных выбросов от примесей гибридных газов : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1969―1987 гг.) / В. Н. Щербаков, С. С. Кульнева. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988. — 48 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1988, вып. 6) - Щербаков, В. Н. (Обзоры по электронной технике, 1988)