Электронная литография : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1985 гг.) / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985. — 51 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 19) - Попов, В. К. (Обзоры по электронной технике, 1985)