Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении. Ч. 2. Методика осаждения слоев при пониженном давлении : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1984 гг.) / Ю. В. Васильев, М. С. Сухов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985. — 51, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 4) - Васильев, В. Ю. (Обзоры по электронной технике, 1985)