Физико-химические условия в реакторе установки плазмохимического травления и структура установки (поштучной) обработкой пластин : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1984 гг.) / [С. А. Смирнов, П. Р. Шефер]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985. — 52 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1985, вып. 11) - Смирнов, С. А. (Обзоры по электронной технике, 1985)