Системный подход при проектировании автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1965―1981 гг.) / В. В. Степанов, В. В. Сысоев. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981. — 40 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 21) - Степанов, В. В. (Обзоры по электронной технике, 1981)