Низкотемпературное нанесение пленок нитридов кремния и алюминия реактивным распылением в вакууме : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1989 гг.) / Л. А. Сейдман. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990. — 52 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1990, вып. 5) - Сейдман, Л. А. (Обзоры по электронной технике, 1990)