Вакуумная техника в микроэлектронике: (по данным зарубежной печати за 1973―1983 гг.) / И. А. Калябина
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Калябина, И. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Физические характеристики: |
28 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1983, вып. 10 |
Загрузка...