Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 3. Повышение надежности исполнительных механизмов УВН: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1978 гг.) / [С. А. Ашинов и др.]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Ашинов, С. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978 |
| Физические характеристики: |
39 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1978, вып. 14 |
Загрузка...