Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч. 1. Тенденции развития и классификация реакторов : (по данным отечественной зарубежной печати за 1967―1977 гг.) / [В. И. Иванов, Н. И. Николайкин, Б. Б. Сигалов]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977. — 35 c. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1977, вып. 14) - Иванов, В. И. (Обзоры по электронной технике, 1977)