Применение ионно-плазменных процессов в производстве изделий электронной техники / [В. И. Орлов]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979. — 43, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Технология, организация производства и оборудование ; 1979, вып. 11) - Орлов, В. И. (Обзоры по электронной технике, 1979)