Осаждение тонких пленок из низкоэнергетических ионных пучков / [Е. Я. Черняк]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1979. — 55 с. — (Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование ; 1979, вып. 14) - Черняк, Е. Я. (Обзоры по электронной технике, 1979)