Статическое электричество при производстве полупроводниковых изделий / В. А. Каверзнев, Ю. А. Овечкин, В. М. Петров. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973. — 37, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 7. Технология, организация производства. Оборудование ; 1973, вып. 20) - Каверзнев, В. А. (Обзоры по электронной технике, 1973)