Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения : (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1988 гг.) / Ю. С. Боков, А. Б. Невский, В. М. Фролов. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988. — 35 c. — (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника ; 1988, вып. 6) - Боков, Ю. С. (Обзоры по электронной технике, 1988)