Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем / [составитель Р. А. Карпович. — Москва : Электроника, 1976. — 80, [1] с. — (Тематические указатели литературы. Технология, организация производства. Оборудование ; вып. 10 (177)) - Карпович, Р. А.; Чечко, Л. И. (Тематические указатели литературы, 1976)