Газоразрядные источники излучения для фотолитографии / А. М. Данильченко [и др.]. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978. — 33, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Электровакуумные и газоразрядные приборы ; 1978, вып. 1) - Данильченко, А. М. (Обзоры по электронной технике, 1978)