Оборудование триодного распыления материалов при разработке и производстве электроннолучевых и фотоэлектрических приборов / [В. И. Шаблов, Е. И. Беркушкина, З. М. Шарова]
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Шаблов, В. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Физические характеристики: |
27, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Электровакуумные и газоразрядные приборы ; 1973, вып. 8 |
Загрузка...