Подложки для пленочных микросхем / Т. П. Шкаруппо. — Москва : Институт "Электроника", 1969. — 16, [2] с. — (Обзоры по электронной технике. Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника ; 1969, вып. 20) - Шкаруппо, Т. П. (Обзоры по электронной технике, 1969)