Методы геттерирования примесей в кремнии. Ч. 1: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1980 гг.) / Е. И. Верховский
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Автор: | Верховский, Е. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Физические характеристики: |
48 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Полупроводниковые приборы ; 1981, вып. 8 |
Загрузка...