Травление в плазме СВЧ и ВЧ газовых разрядов : (по описаниям зарубежных изобретений за 1971―1980 гг.) / Н. К. Беляева, А. И. Маштакова. — Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981. — 49, [1] с. — (Обзоры по электронной технике. Электроника СВЧ ; 1981, вып. 12) - Беляева, Н. К. (Обзоры по электронной технике, 1981)