Оборудование для изготовления и контроля БИС и СБИС / В. В. Демиденко, И. С. Петрова, И. К. Гриневская. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984. — 17, [1] с. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 4-1984) - Демиденко, В. В. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1984)