Оборудование для производства и контроля изделий микроэлектроники / В. В. Демиденко. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1983. — 15, [2] с., включая обложку. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 2-1983) - Демиденко, В. В. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1983)