Прецезионная литография для производства сверхбольших интегральных микросхем / Л. А. Наумова, Т. А. Чернова. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1979. — 12, [1] с., включая обложку. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 6-1979) - Наумова, Л. А. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1979)