Автоматизация технологических процессов изготовления БИС / И. С. Петрова, Т. Н. Плонская, М. И. Паршина. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1979. — 12, [2] с., включая обложку. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 2-1979) - Петрова, И. С. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1979)