Оптимизация технологических процессов изготовления интегральных микросхем / А. И. Лизин, В. В. Демиденко. — Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1986. — 41, [1] с. — (Приборы, средства автоматизации и системы управления. Экономика и технология приборостроения ; вып. 5-1986) - Лизин, А. И. (Приборы, средства автоматизации и системы управления, 1986)