Микроэлектронная технология изготовления преобразователей физических величин / О. П. Перепелицын, И. Т. Михайлов

Вид документа: Периодические издания
Автор: Перепелицын, О. П.
Опубликовано: Москва : ЦНИИТЭИприборостроения, 1984
Физические характеристики: 51, [2] с., включая обложку : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Приборы, средства автоматизации и системы управления Экономика и технология приборостроения ; вып. 2-1984