Анализ технологического маршрута БиКМОП БИС : лабораторный практикум по курсу "Технология интегральных схем" для спец. "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" : в 4 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Кафедра микроэлектроники. Ч. 4