Наноэлектроника : учебное пособие : в 3 ч. / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Кафедра микроэлектроники. Ч. 2 : Нанотехнология: для специальности "Микроэлектроника" дневной формы обучения / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева