Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники : в 3 т. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Lehr- und Forschungsgebiet Werkstoffwissenschaften Rheinisch Westfälische Technische Hochschule Aachen. Т. 3 / под общей редакцией А. П. Достанко и П. А. Витязя
| Другие авторы/ответственные: | Достанко, А. П. (1937—2024), Кундас, С. П. (1953—2020), Бордусов, С. В. (род. 1955), Карпович, С. Е. (1949—2023), Свадковский, И. В., Босяков, М. Н., Ануфриев, Л. П. (род. 1945), Lugscheider, E. F. (род. 1940), Ильющенко, А. Ф. (род. 1956) |
|---|---|
| Вид документа: | Книги |
| Опубликовано: | 2001 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка...