Субмикронная литография с применением потоков ионизирующих излучений: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1983 гг.) / Б. В. Козейкин, А. И. Фролов, А. С. Чеботарев
| Автор: | Козейкин, Б. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Фролов, А. И., Чеботарев, А. С., Невский, А. Б. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1984, вып. 2 |
Загрузка...