Современное состояние исследований механизма роста эпитаксиальных слоев кремния и соединений АIII BV из газовой фазы. Ч. 3. Анализ механизма элементарных стадий при эпитаксиальном росте соединений АIII BV из газовой фазы: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1966―1984 гг.) / С. С. Стрельченко, А. А. Матяш, Ю. И. Кунакин
| Автор: | Стрельченко, С. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Матяш, А. А., Кунакин, Ю. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1985 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1985, вып. 5 |
Загрузка...