Тенденции в области увеличения диаметра кремниевых пластин в производстве ИС: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1977 гг.) / [В. Ф. Афаносович, Е. А. Королева]
| Автор: | Афанасович, В. Ф. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Королева, Е. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1978 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1978, вып. 8 |
Загрузка...