Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 1. Физико-технические основы: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1981 гг.) / В. В. Зотов, Е. А. Королева
| Автор: | Зотов, В. В. (род. 1934) |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Королева, Е. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1981, вып. 7 |
Загрузка...