Протонное модифицирование оксидов и оксидных пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / А. Н. Сергеев [и др.]
Автор: | Сергеев, А. Н. |
---|---|
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
Материалы ; 1990, вып. 1 |
Загрузка...