Физические концепции механизма лазерного отжига имплантированных полупроводниковых структур: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1981 гг.) / Н. В. Черепнин
| Автор: | Черепнин, Н. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1981 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1981, вып. 8 |
Загрузка...