Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Ч. 1. Производительность и структура установок вакуумного нанесения тонких пленок: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1977 гг.) / [С. А. Ашинов]
| Автор: | Ашинов, С. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1977 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Технология, организация производства и оборудование ; 1977, вып. 13 |
Загрузка...