Технология и оборудование для нанесения тонких пленок / М. И. Березин
| Автор: | Березин, М. И. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология и организация производства ; 1972, вып. 9 |
| Предмет: |
Загрузка...