Молекулярно-лучевая эпитаксия: (особенности технологии и свойства пленок) / [А. Г. Денисов, Ю. Г. Садофьев, А. П. Сеничкин]
| Автор: | Денисов, А. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Садофьев, Ю. Г., Сеничкин, А. П. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1980 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия 7. Технология, организация производства и оборудование ; 1980, вып. 14 |
Загрузка...