Откачные высоковакуумные системы и их элементы / М. И. Березин

Автор: Березин, М. И.
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике Серия: Технология и организация производства ; 1971, вып. 11